陆谦长长的叹了口气:“老张,不是我们不想实现90纳米光刻机国产化,而是得考虑经济效益啊。”
对此,王君山很是理解:
“90纳米的干式光刻机是早就落后的设备,即便实现了量产,也只能用于65纳米工艺,无法用于40纳米工艺,更别说28纳米工艺了。”
也正是因此,魔都方面没有在90纳米光刻机上投入巨资去支持他们,一款即便成功都已经过时的产品,生产出来也用处不大了。
最简单的,90纳米光刻机是干式的,用到40纳米工艺上都需要多重曝光,那成本就非常高了。
而且还只能生产40纳米的非关键层,至于40纳米的关键层,还得需要浸没式光刻机。
可以说,在40纳米领域,干式光刻机只能够作为辅助光刻机给浸没式光刻机打配合,通过多重曝光去光刻非关键层,但是成本也比浸没式光刻机高。
毕竟浸没式光刻机一次曝光就能搞定的事情,干式光刻机需要多重曝光。
也正是因此,帝都晶圆厂的建设过程中,基本上放弃了干式光刻机,全部都是浸没式光刻机。
“而且三四年之后,即便量产了,交付投产就要四五年之后了。四五年之后,40纳米工艺已经不怎么先进了,那个时候已经是14纳米的时代。”
“90纳米的干式光刻机在40纳米时代都只能作为陪衬进行辅助工作,在28纳米时代更是完全用不上,更别说14纳米时代了。”
陆谦点点头:“是啊,这就是我们的难题。不是我们不想支持魔都微电子的90纳米干式光刻机,而是即便造出来,也已经过时了,没意义了,根本卖不出多少台。
“投入几百亿去研发一款刚量产就过时的设备,没多少意义,魔都的财政也经不起这种无意义的消耗。”
王君山点点头:“陆老说的非常有道理,但是光刻机还是必须要造的,不如放弃干式光刻机,直接去研发下一代浸没式光刻机。”
“只要做出浸没式光刻机,不仅能够用于当下的40纳米、28纳米,还能用于五年后的14纳米,十年后的7纳米,都没有问题。”
“在浸没式光刻机不断升级下,通过多重曝光,7纳米以下的尖端制程都有希望。届时就不怕光刻机被卡脖子了,国产半导体战略安全也就更加有保障。”
陆谦眼睛一亮:
“王董,你说的非常有道理,的确,干式光刻机已经过时了,我们没必要继续投资继续消耗了。但是浸没式光刻机还是很有前途很有发展的,的确应该投入巨资尽快搞出来。”
“不过浸没式光刻机不是那么容易的,即便我们现在全力支持,也需要大几百亿,并且不是我们一个魔都可以搞定的。”
“光刻机这个东西涉及方方面面,魔都微电子一家不行,需要中科院等多个机构全力支持,这事非常麻烦。”
张森也开口道:“而且不只是光刻机的问题,还有光刻胶也是问题。一旦光刻胶被卡脖子,有光刻机也白搭。所以这些都得全方位突破,这是一条线的事。
“但不管是深市还是魔都,即便是帝都都做不到,这太难了。”
“这不仅是钱的问题,更是技术的问题,总之难如登天,但是我们不得不做。”
听着二老的话语,王君山喜上眉梢,要的就是这番话。
他可不是和两位领导瞎扯淡,相反就是在继续抛砖引玉。
之前的抛砖引玉引出了魔都晶圆厂和深市晶圆厂,而这一次的抛砖引玉,王君山的目标则是国产光刻机、国产光刻胶等整个产业链的布局!
而想要搞定这一切,不是几个城市或者某个企业可以做到的,相反,必须是国家机器国家力量,必须成立大基金。
没错,王君山今日的目标,就是大基金!
在前世,大基金要到2014年9月份才成立,也就是三年半之后,那太晚了。
也正是因此,浸润式国产DUV光刻机实现量产都要十年以后了。
而王君山要的就是大基金提前成立,提前布局,那么国产光刻机的突破也可以提前。
“两位领导,半导体战略安全是必不可少的,也是非常重要的。但是烧钱烧技术都是难题,不是一个城市,两个城市、三个城市可以做到的,而是需要国家机器,需要众志成城。”
王君山娓娓道来:“比如我们可不可以由几个一线城市牵头,成立一个专业的部门,成立一个半导体大基金。然后开始募资,一期募集个1000亿去布局光刻机、光刻胶这些核心设施,动员全部力量,让几个核心单位去配合,
去做光刻机、光刻胶,去布局整个产业?”
陆谦若有所思:“成立大基金,募资,提供资源支持、资金支持、政策支持......这思路不错,听起来着实可行。这不是一个城市可以做的项目,但是有大基金来统筹就没问题了。”
王君山点点头:“没错,我们未来半导体可以承诺,只要浸没式DUV光刻机实现量产后,我们就会批量采购。还有国产光刻胶,只要能够实现量产,我们也会批量采购。同时,我们未来科技、未来半导体也愿意投入一部分资
金,入股大基金,为国产半导体发展尽一份力!”
张森目光变得深邃起来:“若是这样,这个大基金还真有搞头,而且完全可以搞。”
陆谦也开口道:
“不是完全可以搞,是必须搞。半导体烧钱太多,方方面面都需要投入。”
“未来科技实现芯片研发、晶圆量产,已经非常难得了。总不能再让他们实现光刻机研发、光刻胶研发,这不现实。”
“这不是一个企业可以做到的,绝大多数的国家都做不到,也只有超级大国有希望实现,大基金必须成立。”
“没错,这样咱们再叫上其他几人,尽快开一个会议研究大基金的事。”
“对,魔都晶圆厂要做,光刻机、光刻胶都要做,大基金必须成立。咱们一家承担不了,那就成立大基金,一起投钱一起做!”
“晶圆厂几个一线城市就投了,至于其他的方面,就让大基金来,咱们每家出点钱。”
“王董,你的思路很好,这样,你回头做一份方案,我们联名提上去,尽快把大基金这个事推进、落实、起步。”
“好的领导,我这就准备方案。其实之前已经有一些想法了,回头我再和半导体专家仔细完善一下。”
王君山心情大好,大基金若是今年就成立的话,就能提前三年布局!
那国产半导体的发展,可不是只提前三年,而是能够提前六年的时间!
再加上王君山的全力支持,提前九年的时间也完全有希望。
原本2026年量产交付的国产浸没式DUV光刻机,完全有希望提前到2017年量产交付。
如果2017年实现国产DUV光刻机,那么就不怕老米爆锤了。
即便下一任上台,断了光刻机所有采购,还可以用国产替代。
那么14纳米、10纳米的国产战略安全都没有任何问题。
通过多重曝光也能做到7纳米,甚至等效5纳米。
那就前途可期了!
大基金必不可少!
这事谈妥,王君山带着二人来到工艺研发事业部。
梁老连忙迎了上来,王君山给几人互相介绍。
“梁先生,欢迎回来,我们即将在魔都和深市各再造一座超大的晶圆厂,有什么需求尽管提。
陆谦笑着开口,对于这种回国人才,他非常欣赏,非常支持。
张森也感慨万千:“我们从来不缺人才,但是很多人出去就不回来了。”
“科学无国界,但是科学家有国界。”
“如果大家都能像梁先生一样,国产半导体何愁不兴啊?”
梁松也变得神色复杂起来,终究是说道:
“放心,领导,我都回来了,后续还会源源不断地有更多的人回来,为我们国产半导体的发展添砖加瓦。”
“不止如此,王董很有魄力,很有格局,还在全球范围内挖了很多外籍专家和人才。正是他们的存在,让我们的工艺制程研发进展十分顺利。”
“如今40纳米工艺的研发很顺利,预计4个月后就可以下线调试,今年第四季度实现40纳米量产,很有希望。”
“咳咳!”
王君山连忙轻咳提醒,可是梁老还是已经说出去了。
他给两位领导说的是明年实现40纳米量产,并没有说今年第四季度。
有的时候留足空间,再给些惊喜更好,却不想梁老是个直肠子………………
看着这一幕,陆谦和张森瞬间明白了一切。
“王董,你还是藏了部分实力啊,今年就能实现40纳米量产,好,太好了!”
“那我们魔都和深市的晶圆厂更要尽快推进了,别耽误了事,毕竟建成怎么都得一年多,哪怕两期工程同步推进的话,也需要一年的时间。”
王君山很是无语,正常一座月产十二万片的超大晶圆厂都会分成两期工程,一年建一期,两年完工。
可帝都这边为了急着投产,直接把第二期工程提前了将近一年。
也就是说,两期工程同时推进,那么一年多就能建成。
现在魔都和深市看来也要这样做了,那就不好整了。
都想着尽快建成,尽快投产,尽快实现40纳米芯片量产!
王君山拦都拦不住。
陆谦直接说道:
“王董,未来科技的实力我们看到了,未来半导体的进展我们也了解了,咱们就开门见山,直接谈合作,推进签约!”
“好吧。”王君山只能应下,带着几人和梁老一起,进入会议室。
之前他想着是怎么样才能促成两大晶圆厂,现在是怎么样调解让两大晶圆厂别那么激进的同时爆兵!
有的时候被人追着送晶圆厂也是很痛苦的。
就像很多企业发展得非常好,不急着上市,可是被股东追着送钱。
都是没办法的事。
陆谦直接道:“魔都晶圆厂规模和帝都相似,也定在月产十万片晶圆,并且配建一座封测厂,总投资预算五百亿。”
“考虑到你们40纳米和28纳米工艺制程研发比较顺利,我们多出一些钱,出四百亿占百分之二十的股份。”
“未来半导体出一百亿占百分之八十的股份,但要确保28纳米工艺研发成功并投产,确保封测技术突破并投产。魔都晶圆厂一期建成18个月内,必须实现28纳米工艺量产!”
王君山若有所思,魔都晶圆厂一期工程即便迅速动工,建成估计也要明年6月份了,18个月内投产,也就是2013年12月份投产,这对于未来半导体来说没有任何难度。
有梁老在,2013年年初28纳米就能投产。
魔都晶圆厂2013年第二季度就有希望投产,根本不用等到12月份。
“没问题,魔都晶圆厂项目,可以签!”
王君山果断应下。
张森也开口道:“深市这边,和魔都晶圆厂一样,400亿,占20%股份,同样建一个10万片月产能的晶圆厂和一个封测厂,要求至少是28纳米工艺。我们会迅速推进,尽快动工!”
不过这一次,王君山没有直接应下,反而开口道:
“这些不是问题,不过前提是我们需要换一种模式。工艺制程这边没有任何问题,可是光刻机采购呢?”
“一座40纳米加28纳米混合的晶圆厂需要至少三十三台光刻机,一座纯粹的28纳米晶圆厂需要35台高端DUV光刻机,而一座28纳米和14纳米混合的晶圆厂至少需要四十台高端DUV光刻机。
“帝都晶圆厂就需要采购三十三台光刻机。魔都晶圆厂和深市晶圆厂,至少35台甚至40台。”
“如果三家晶圆厂都迅速动工,都两期工程一起开建,都在一年半内全部建成,在两年半内全部投产,那么我们就需要采购103-108台光刻机。”
“目前帝都晶圆厂这三十三台光刻机都已经下单了,今明两年交付,问题不大。但是接下来魔都和深市两大晶圆厂也都下单的话,那动作有点太大了。”
“虽然阿斯麦当下一年生产一百多台高端浸没式DUV光刻机,没有任何问题,咱们剩下的七十多台订单,分到两年内,也倒是问题不大。”
“可都是一家企业集中采购的话,审批方面会出问题!”
“阿斯麦见我们未来半导体一下子采购100多台光刻机,阿斯麦都会有想法的。”
陆谦听懂了王君山的意思:
“王董,你这个担心非常重要,也非常必要。如果咱们分开采购,一年采购五十台都没问题,毕竟我们市场大。但是如果这五十台都落在一个企业,那是肯定不行的。”
王君山点点头:“因此我建议魔都和深市晶圆厂可以改变一下模式。”
“魔都有中芯国际,晶圆代工产业基础好,可以立即启动,6月份开建一期,12月份开建2期。先以魔都晶圆厂的名义运作,采购35台光刻机,分两批交付。后续光刻机到位之后再划归未来半导体旗下。”
“而深市晶圆代工产业比较薄弱,需要更多时间布局,可以9月份开建一期,明年三月份开建二期。”
“同样也先以深市晶圆厂的名义推进,采购光刻机,等到光刻机到位之后,再划归未来半导体,需要在协议上略微处理一下。”
“一期和二期工程之间隔上半年,说不定二期可以买到下一代更先进的DUV光刻机,后续他们还会出新的型号,这样也是好事,二期工程在后续完全可以升级为更加尖端的工艺。”
陆谦连连点头:
“没问题。这样一来,反而更稳妥,更安全。三家晶圆厂在名义上看来就是三家企业,三家晶圆厂每家采购三十多台光刻机,分两年交付,一年交付十几台,这非常正常。”
张森也开口道:“还是王董考虑周到,深市晶圆厂晚动工一些,说不定能蹭上14纳米工艺。行,就这么办。”
张森嘴上说着,心中更是嘀咕道,
“如果真能上14纳米工艺,深市国资委大可以追加投资,把深市晶圆厂的产能从10万片扩张到15万片晶圆!”
“到时候我们深市晶圆厂就是内地第一晶圆厂,从不如魔都不如帝都,变成一下子超越魔都超越帝都!”
“而且是工艺制程和产能,全方位地碾压。”
“这才符合我们深市的发展速度。”
“没错,就这么办!”
两个晶圆厂项目达成了大的共识,此次视察已经圆满结束。
至于具体的协议细节,由双方工作人员进行对接处理就行了。
最后高层审批无误,就可以正式签约。
这种投资项目就是如此,只要高层领导谈妥大的方向,剩下的细节都不是问题。
送走几位领导,梁松满是激动:
“老板,接下来我们除了帝都晶圆厂,魔都晶圆厂、深市晶圆厂也都要全部开建了。太好了!”
“是啊,老梁,光刻机采购问题,我让他们分开采购。提出独立运作就是为了防止审批问题。但是具体的交付这些东西需要你统筹,然后和三大晶圆厂的代理人进行对接。”
王君山嘱咐道:“等光刻机交付之后,咱们就直接都收入未来半导体旗下,统一管理。”
“没问题的老板,这样一来,咱们产能将在接下来的两三年时间实现质的飞跃。”
梁松喜上眉梢,掰着手指开始算:
“明年第一季度,帝都一二期晶圆厂都能建成,也就是十万片晶圆。魔都晶圆厂如今刚签约,尽快动工的话,一期明年6月份能够建成,二期12月份建成。
“深市明年9月份一期建成,后年三月份二期建成!”
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“那咱们的产能就变得极其恐怖了,太好了!这下台积电、三星、英特尔都会有巨大的危机了,不过这是好事。”
王君山露出笑容:“产能不再是问题,晶圆厂也不再是问题。每年五十多台光刻机分成三家采购,也同样问题不大。不过工艺研发的事就需要你全面上心了。还有封测技术研发,你也要盯紧。”
梁松虽是半导体领域专注工艺制程的人才,对封测技术研发并不十分擅长。
但作为台积电技术总监级的高层,他对封测技术大方向的把握,依然有着很高的水平。
最初台积电只做晶圆生产不涉足封测,但五年前,也开始布局封测了。
无他,晶圆生产、芯片封测本就是一条链上的工作,紧密地结合。
芯片生产的整个过程分为研发设计和生产环节,而生产环节又分为前道工序和后道工序。
晶圆厂负责的是前道工序,而封测厂负责的是后道工序。
晶圆在晶圆厂完成所有光刻、刻蚀、沉积等工艺后,变成一整片布满几百甚至上千颗芯片的完整晶圆。
其间芯片之间还有划片槽连接,并没有被单独切割开。
然后进入封测厂,开始后道工序。
封测厂首先用探针,对晶圆上的每颗芯片进行通电检测,确定有没有问题。
然后再把合格的芯片切割封装成一颗颗独立芯片。
最后再进行最终测试。
这样一来,光滑的晶圆就变成了一颗颗封装好的优质芯片,先送到代工厂进行手机组装,再交付给客户。
只做其一不做其二,那对客户来说是麻烦,客户需要再找封测厂进行封测。
这就要求把晶圆代工厂生产的晶圆,全部运到封测厂进行封装测试。
多了这一道工序,就会更复杂一些,更费时一些,当然成本也会上升一些。
眼下台积电刚涉足芯片封测,目前主要以45纳米为主。
不管是应龙905芯片还是高通芯片,全部都是日月光等第三方封测巨头负责封测。
但是等到再过几年,台积电自己的封测全面提升之后,也会实现晶圆生产到封测一体化流程。
正因此,王君山的目标一开始就是晶圆生产加封测的一条龙服务。
“老板,封测那边我也在盯着,帝都封测厂明年第一季度就能建成。但封装技术的研发,只能说一半顺利。”